国家科技重大专项极紫外光刻胶项目通过验收

芯方式管理员2018年6月1日
国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项实施管理办公室组织任务验收专家组、财务验收专家组对02重大专项“极紫外光刻胶材料与实验室检测技术研究”项目进行了任务验收和财务验收。与会专家听取了项目负责人和课题负责人对项目和课题完成情况的汇报,审阅了验收资料。经过认真讨论,与会专家一致同意该项目通过验收。

国家科技重大专项极紫外光刻胶项目通过验收

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