我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破

芯方式管理员2018年6月6日
中国电科二所自主研发和生产了100台SiC单晶生长设备和粉料。SiC单晶是第三代半导体材料,是新一代雷达、卫星通讯、高压输变电、轨道交通、电动汽车、通讯基站等重要领域的核心材料,具有重要的应用价值和广阔的应用前景。在具备高纯SiC粉料和单晶生长炉条件下,还需要对生产工艺进行设计、调试和优化。

我国半导体SiC单晶粉料和设备生产实现新突破

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